第385页 (第1/2页)
摩尔定律表示, 集成电路的密度每两年翻倍,翻倍的前提是光刻技术的提升,降低曝光关键尺寸(CD)。
瑞利公式CD=k1*(λ/NA)
根据瑞利�
更多内容加载中...请稍候...
本站只支持手机浏览器访问,若您看到此段落,代表章节内容加载失败,请关闭浏览器的阅读模式、畅读模式、小说模式,以及关闭广告屏蔽功能,或复制网址到其他浏览器阅读!
摩尔定律表示, 集成电路的密度每两年翻倍,翻倍的前提是光刻技术的提升,降低曝光关键尺寸(CD)。
瑞利公式CD=k1*(λ/NA)
根据瑞利�
更多内容加载中...请稍候...
本站只支持手机浏览器访问,若您看到此段落,代表章节内容加载失败,请关闭浏览器的阅读模式、畅读模式、小说模式,以及关闭广告屏蔽功能,或复制网址到其他浏览器阅读!